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에프에스티 - 펠리클 및 칠러 전문 업체 (Feat, 삼성전자, EUV, 반도체수율)

by BUlLTerri 2024. 6. 11.
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출처 : www.fstc.co.kr

▷ 종목관련 이슈

 

에프에스티는 반도체 및 디스플레이 제조 공정에 사용되는 펠리클 및 칠러 전문업체이다. 펠리클 사업부문은 국내 점유율 약 80%, 해외 점유율 약 20%를 차지하는 등 시장을 주도하고 있으며, 포토마스크별 대응하는 펠리클을 개발/제조하여 공급하고 있다. 펠리클은 반도체 수율 향상에 기여하는 부품으로 반도체 제조 시 노광공정에서 포토마스크를 이물질로부터 보호하기 위해 사용되는 부품이다. 최근 AI의 급격한 발전에 따라 반도체가 점점 미세화되고 있으며 이로 인해 반도체 수율에 대한 중요성이 점점 더 커지고 있는 만큼 지속적으로 관심을 가져야할 기업으로 판단된다. 

출처 : www.fstc.co.kr

상장 계열사로는 웨이퍼/패키지 검사 장비 및 오버레이 계측 장비를 제작하는 오로스테코놀로지가 있으며 삼성전자가 7%지분을 투자하고 있어 삼성전자와의 협력이 기대되는 기업이기도 하다. 

출처 : 2024, IR협의회 에프에스티 기업분석
출처 : 2024, IR협의회 에프에스티 기업분석

●시총 :8615억(2024.06.10)

●최대주주 및 특수관계인 지분 : 24.26%

●미상환전환사채 : X (교환사채 O)

●관련테마 : EUV, 펠리클, 테일러시, 삼성전자, EUV펠리클 국산화, 텍사스

 

▷관련기사

이재용 삼성전자 회장은 26일(현지 시간) 독일 오버코헨에 위치한 자이스 본사를 방문해 칼 람프레히트(Karl Lamprecht) CEO등 경영진과 양사 협력 강화 방안을 논의했다.이날 삼성전자와 자이스는 파운드리와 메모리 사업 경쟁력을 강화하기 위해 향후 EUV 기술 및 첨단 반도체 장비 관련 분야에서의 협력을 더욱  확대하기로 했다. 자이스는 2026년까지 480억원을 투자해 한국에 R&D 센터를 구축할 계획이다. 자이스가 한국 R&D 거점을 마련함에 따라 양사의 전략적 협력은 한층 강화될 전망이다. 삼성전자는 자이스와의 기술 협력을 통해 차세대 반도체의 ▲성능 개선 ▲생산 공정 최적화 ▲수율 향상을 달성해 사업 경쟁력을 끌어올릴 수 있을 것으로 기대된다.
재계에 따르면 이재용 회장은 윤석열 대통령이 국빈 방문으로 12월 12~13일 네덜란드 헤이그에 머무르는 순방길에 동행한다. 이 회장은 이 과정에서 극자외선(EUV) 노광장비를 독점 생산하는 네덜란드 기업 ASML 찾아 베닝크 CEO 및 경영진과 만날예정이다.
에프에스티는 현재 EUV 펠리클 1세대·2세대를 모두 개발 중에 있다. 반도체 공정의 미세화·고집적화 추세로 EUV 도입이 점차 확대되면서 EUV 펠리클 국산화 성공에 따른 수혜 기업으로 떠오르고 있다.에프에스티는 EUV 펠리클 양산에 속도를 내고 있다. 올해 초 약 190억 원 투자해 EUV펠리클 전용 공장을 착공하면서 내년 본격적인 양산이 전망된다.에프에스티 관계자는 25일 "EUV펠리클 공장은 연내 시제품을 생산할 수 있는 파일럿 라인까기 구축해, 시제품을 납품할 수 있는 것을 목표로 한다'며"목표이기에 변동성은 있을 것으로 본다. 아직은 반도체 사이클에서 신규 투자가 진행되고 있지는 않기 때문에 상황들을 지켜보고 있다"고 말했다.또한, 에프에스티는 EUV 펠리클 관련 장비 개발도 우선적으로 완료했다. EUV 펠리클 EPMD(Euv Pellicle Mounter & Demounter), EUV 펠리클 및 EUV Pod 검사 장비 개발을 완료했으며, 지난해 국내 반도체 제조사 납품을 통해 EUV 펠리클 장비 관련한 매출도 발생하고 있다. 현재 EUV 마스크 패턴 검사기 'EMPIS'는 개발 중에 있다.
업계에 따르면 에프에스티는 올 하반기 시양산을 목표로 연구개발을 하고 있는 EUV 펠리클이 삼성전자가 짓고 있는 미국 공장에서 첫 선을 보일 것이라는 기대감이 커지고 있다. 에프에스티는 올초 EUV펠리클 전용 공장을 착공했다. 투자규모는 약 190억원 수준으로 하반기 중 완공하고 연내 고객사에 시양산품을 공급할 예정이다.
SK증권에서 에프에스티(036810)에 대해 '신제품으로 이어지는 해, 다행히 실적도 바텀 아웃. 2023년 전방 투자 대폭 축소로 장비 매출이 크게 줄었고 제품 다각화를 준비 중인 여러 자회사들의 개발비 및 인건비가 증가하며 연결 기준 영업이익은 -108억원으로 적자 전환. 2024년은 BEP를 소폭 넘는 흑자를 기대. 동사의 관전 포인트는 단기 실적 턴의 폭보다 준비 중인 여러 제품의 성과가 2025년부터 본격적으로 부각될수 있다는 부분. 3가지 축: EUV, 극저온, HBM.'라고 분석했다. 또한 SK증권에서 'HBM: 자회사 화인세라텍의 세라믹 기판과 자회사 오로스테크놀로지의 오버레이 장비가 관련 제품. 특히 화인세라텍은 하이엔드 프로브카드 세라믹 기판 국산화를 목표로 시작했으며 2025년 가시적인 성과를 기대 중.'라고 밝혔다.
금융감독원 전자공시에 따르면 에프에스티는 세계 최초로 펠리클용 프레임 관련 제품을 개발해 양산에 성공했다.삼성전자는 에프에스티의 지분 7%를 보유하고 있다. 이는 에프에스티의 반도체 펠리클 기술을 보고 투자한 것이다.에프에스티는 반도체 펠리클용 프레임 및 FPD 펠리클용 프레임 제조와 판매를 주요 사업으로 하고 있다. 축적된 ECC Coating 기술과 특수정밀가공 기술로 반도체 장비 부품 사업을 선도하고 있다. ArF용 ECC 프레임 (SO4, PO4 Free) 을 세계 최초로 개발 및 양산에 성공 및 PID 고평탄 - 13 - 프레임 (2.55t)양산 개발 완료, ECC 부품 등 세계적으로 유일한 독자기술을 확보하고 있다.
에스앤에스텍은 올해 7월까지, 에프에스티는 내년 8월까지 EUV 펠리클 양산 설비를 확보할 방침이다. 두 회사는 그동안 삼성전자로부터 각각 지분 투자를 받아 EUV 펠리클 국산화를 추진해왔다. 에스앤에스텍은 연내 완공하는 경기도 용인공장에서 EUV 펠리클을 양산할 예정이고, 에프에스티는 올 하반기 양산을 위한 구체적 설비투자 계획을 발표한다. 펠리클은 반도체 회로 패턴이 그려진 포토마스크에 이물이 묻지 않도록 해 손상을 방지한다. EUV 공정에는 포토마스크 한장이 수억원에 달하는 만큼, 펠리클로 포토마스크 수명을 연장하는 것이 필요하다. 반도체 생산 원가를 줄이기 위해서다. EUV 펠리클은 심자외선(DUV) 대비 강력한 노광 출력을 견딜 내구성을 갖춰야 하고, 90% 이상의 투과율 확보해 웨이퍼에 도달하는 에너지 손실이 최소화해야 한다. 두 업체는 투과율 90% 이상으로 400와트(W) 출력을 견디는 1세대 EUV 펠리클 개발을 완료했다. 현재 차세대 제품을 개발하고 있다. 2세대 제품은 2025년 이후 2나노(㎚) 공정에서 사용될 '하이 NA' EUV 장비 출력을 견딜 수 있는 수준으로 개발할 예정이다.
EUV 생태계에서 에프에스티는 EUV 노광 공정에 활용되는 장비와 부품 등의 국산화를 이끌고 있는 토종 반도체 장비업체다. 지난 2021년 삼성전자가 기술 개발 협력을 위해 에프에스티에 430억원을 투자했으며, 지난해 3분기 보고서에 따르면 삼성전자가 보유하고 있는 에프에스티의 지분은 7%(152만2975주)다. 에프에스티는 현재 ▲EUV 펠리클 탈부착장비’ EPMD’ ▲EUV 펠리클 검사기 ‘EPIS’ ▲EUV 포토마스크 포드 검사기 ‘EPODIS’ ▲EUV 광원 등을 보유하고 있으며, EUV 펠리클 개발에도 나서고 있다. 정철우 에프에스티 APSA 사업부 상무는 “펠리클(EUV 공정에서 포토마스크를 이물질로부터 보호하는 덮개 역할을 하는 부품) 검사장비와 펠리클 탈부착 장비 등은 현재 고객사에 납품이 된 상태로 판매가 이뤄지고 있다”고 했다.
이번에 에프에스티가 수주한 탈부착 장비는 EUV 펠리클을 마스크에 자동으로 붙였다 뗄 수 있는 역할을 한다. 이를 통해 생산성과 안정성을 높일 전망이다. 검사기는 EUV 펠리클의 멤브레인과 프레임 이물질을 확인하는 설비다. 반도체 회사는 물론 펠리클 업체에서도 활용할 수 있다.한편 에프에스티는 자체적으로 EUV 펠리클을 개발 중이다. 내년 양산 목표로 작업이 상당 부분 진척된 것으로 전해진다.
에프에스티는 국내 반도체 제조사로부터 극자외선(EUV) 펠리클 탈부착과 검사 등 핵심 장비를 수주했다고 17일 밝혔다. 지난해 장비 개발을 완료하고 처음으로 수익화에 성공했다. 이번에 수주한 펠리클 마운팅&디마운팅 장비는 EUV 펠리클을 EUV 마스크에 자동 탈부착하는 설비다.EUV 펠리클은 장당 수억원에 달하는 EUV 마스크를 보호하기 위한 부품이다. EUV 펠리클 인스펙션 장비는 반도체 제조 공정 뿐 만 아니라 EUV 펠리클 개발 및 생산 업체도 활용할 수 있다. 반도체 제조사 외 여럿 소재·부품 업체로 수요 시장을 넓힐 수 있다는 의미다.
삼성전자가  전략적 투자를 통해 지분을 많이 보유한 상장 중견기업은 ▲에이테크솔루션 ▲와이아이케이 ▲엘오티베큠 ▲에프에스티 ▲원익IPS 등으로 조사됐다.에이테크솔루션은 반도체 부품 양산 및 자동차 부품 생산 등의 사업을 전개하고 있고, 와이아이케이는 메모리 반도체 웨이퍼 검사장비를 생산한다. 엘오티베큠은 반도체, 태양광용 건식 진공펌프 전문업체다.에프에스티는 반도체와 디스플레이 제조에 필요한 펠리클, 칠러를 개발·제조하고 있다. 원익IPS도 반도체·디스플레이 장비업체로, 삼성전자와 삼성디스플레이가 각각 3.8%의 지분을 보유하고 있다.
업계에 따르면 EUV 공정 도입 확대에 맞춰 국내 기업들도 펠리클 개발을 착착 진행 중이다. 에스앤에스텍은 이미 투과율 91%에 달하는 EUV 펠리클 개발에 성공했고, 에프에스티도 90%를 웃도는 투과율을 달성하는데 성공했다. 두 업체는 내구성 면에서도 실험실 단계에서 큰 문제가 없는 정도로 개발을 마친 것으로 알려졌다.삼성전자는 2020년 에스앤에스텍, 2021년 에프에스티에 각각 658억원(지분 8%), 430억원(지분 6.9%)을 투자해 국산 펠리클 개발을 추진했다. 삼성전자의 지원으로 이들 두 업체는 2년여만에 펠리클 개발을 마치게 됐다.업계에 따르면 삼성전자가 EUV 펠리클 적용을 망설이는 까닭은 펠리클의 손상 위험성 때문인 것으로 알려졌다. EUV 공정은 고출력 에너지를 통한 작업이 진행되기 때문에 공정을 진행하는 과정에서 펠리클이 깨지는 등 위험성이 있다. 만약 공정 진행 중 펠리클이 깨지면, 수천억원에 달하는 EUV 장비를 멈추고 수일 혹은 수주에 걸쳐 장비 클리닝 작업을 진행해야 한다. 클리닝에 들어가는 비용도 문제지만, 공정 중단에 따른 생산량 감소도 상당한 부담이다.
업계에 따르면 현 EUV 장비에 펠리클을 적용할 방침을 세운 것으로 파악됐다. 일각에서 삼성전자가 차기 EUV 장비인 '하이NA'부터 펠리클을 활용할 것이란 관측이 제기됐지만 현재의 EUV 양산 라인에 펠리클을 적용할 계획이다.이 사안에 정통한 업계 관계자는 “EUV 펠리클을 도입하면 공정 속도가 늦어져 삼성전자가 도입을 망설였던 것으로 안다”며 “그러나 최근 투과율등 펠리클 성능이 개선되고 있어 현재 EUV 양산 라인부터 적용하기로 방침을 정했다”고 전했다.삼성은 최근 투과율 88% 펠리클 개발에 성공했다. 에스앤에스텍과 에프에스티에 투자해 EUV 펠리클 개발도 독려 중이다. 삼성 EUV 펠리클 개발에는 총 4개 업체가 참여하고 있는 것으로 파악됐다.
TSMC 꺾을 '삼성 비밀병기' 中企가 만든다 (naver.com)//2023.01.24, 한국경제 강경주 기자
업계에 따르면 EUV 펠리클의 국내 양산이 이르면 연내 가능할 것으로 보인다. 삼성전자로부터 각각 430억원, 658억원을 투자받은 에프에스티와 에스앤에스텍의 EUV 펠리클 투과율이 상용화를 논할 정도로 높아졌기 때문이다. 삼성전자도 자체 기술을 확보한 것으로 알려졌다.에프에스티는 막바지 작업이 한창인 것으로 알려졌다. 투과율은 90% 이상을 웃도는 것으로 추정된다.에스앤에스텍도 이르면 올해부터 투과율 90%가 넘는 EUV 펠리클 양산에 들어갈 가능성이 점쳐진다. 삼성전자 또한 투과율 88% 수준의 자체 EUV 펠리클을 개발하는 데 성공한 것으로 알려졌다.
Arf, Krf 공정에 사용되는 펠리클 품귀현상이 심화되고 있다. 펠리클 가격이 기존 대비 큰 폭으로 올랐는데도 없어서 못 구하는 상황이다. 중국 팹리스 증가와 함께 신규 반도체 개발 수요가 늘고 일부 펠리클 업체의 공급이 여러 이유로 제한되면서 펠리클이 '귀하신 몸'이 되고 있다는 게 업계 분석이다. 현재 국내 기업 중 펠리클은 에프에스티만 생산하고 있으며 EUV 공정에 들어가는 펠리클은 에프에스티와 에스앤에스텍이 개발 중이다.
유럽을 방문중인 이재용 삼성전자 부회장이 14일(현지시간) 네덜란드 에인트호번에 있는 반도체 장비회사 ASML 본사를 방문해 극자외선(EUV) 노광장비의 공급확대를 논의했다는 소식에 에프에스티 등 관련주에 매수세가 몰리고 있다. ASML은 반도체 초미세공정에 필수적인 EUV 노광장비를 전 세계에서 유일하게 생산하는 업체다. 삼성전자와 함께 대만의 TSMC, 미국의 인텔 등이 이 회사의 EUV 장비를 확보하기 위해 경쟁하고 있다. 이 부회장은 최근 "목숨 걸고 하겠다"며 450조원 투자 계획을 밝힌 바 있어 그의 행보와 발언에 투자자 관심이 집중되고 있다. 이에 반도체 EUV 펠리클 개발 및 공정장비 전문기업 에프에스티의 주가가 오름세를 보이는 것으로 풀이된다. 이 회사는 EUV 펠리클 검사장비 제조 자회사 이솔을 자회사로 두고 있다. 이솔은 지난해 4·4분기 EUV 펠리클 투과율을 검사하는 장비(EPTR)를 국내에서 처음으로 상용화하고 삼성전자 EUV 라인에 납품하는 등 괄목할만한 성과를 내고 있다.
에프에스티는 이날 삼성전자를 대상으로 430억원(152만2975주) 규모의 유상증자를 결정했다고 공시했다. 신주는 증자전 발행주식총수의 7.52%다.신주 발행가액은 주당 2만8240원이며, 신주 상장 예정일은 4월 2일이다. 발행된 신주는 1년간 보호 예수된다.
회사 측은 “신제품 개발, 양산 준비를 위한 재원 확보 및 인수법인과의 협업 관계 구축 목적을 위한 결정”이라고 전했다.

 

▷재무추이

출처 : 키움증권 HTS 연간 재무추이
출처 : 키움증권 HTS 분기 재무추이

 

▷최대주주 및 특수관계인 현황

출처 : 전자공시시스템
출처 : 전자공시시스템

주요 제품 및 사업 현황

출처 : 전자공시시스템
출처 : 2023, 에프에스티 IR BOOK
출처 : 2019, IR협의회 기술분석보고서

 

출처 : 2023, 에프에스티 IR BOOK
출처 : 2023, 에프에스티 IR BOOK
출처 : 2023, 에프에스티 IR BOOK
출처 : 2023, 에프에스티 IR BOOK
출처 : 2023, 에프에스티 IR BOOK

▷주요 고객사 : 삼성전자, SK하이닉스, LG이노텍, LG디스플레이

 

▷최근 차트 (2024.06.10)

출처 : 키움증권 HTS

 삼성전자 지분이 투자돼 있기 때문에 삼성전자의 EUV 관련 소식에 민감하게 반응하는 편이다. 차트상으로는 종가기존 역사적 신고가를 돌파해준 만큼 오늘 시가 위치에 따라서 추가적인 반등이나올 가능성이 보이는 차트다. 단 신고가 돌파에 실패할 경우 주가가 크게 조정받을 수 있으나 신고가매매에는 손절이 매우 중요하다.

 

※이 글은 종목추천 글이 아닙니다. 개인적으로 종목에 대해 공부한 내용을 정리한 글입니다. 모두의 투자를 응원합니다.

 

에스앤에스텍 - 삼성전자 EUV 펠리클 관련주

▷ 종목관련 이슈 에스앤에스텍은 블랭크 마스크를 주사업으로 영위하는 회사다. 다만 종목의 주 재료는 'EUV 펠리클'이 대부분이다. 실질적으로 아직 EUV 펠리클에서 매출이 발생하고 있다고 보

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